隨著人們對產(chǎn)品精度的日益重視，超精密機(jī)床在機(jī)械生產(chǎn)中的應(yīng)用也越來越廣泛。 超精密機(jī)床的加工精度遠(yuǎn)高于普通機(jī)床。 例如: 機(jī)床定位精度，普通鏜床為0.02毫米，精密鏜床為0.002毫米，超精密機(jī)床為0.01微米。

超精密機(jī)床的精度要求高，超精密機(jī)床的設(shè)計要求也很高。

1.精度：高靜態(tài)和動態(tài)精度的精度，關(guān)鍵性能指標(biāo)幾何精度，定位精度和定位精度，分辨率等，重復(fù)性如主軸旋轉(zhuǎn)準(zhǔn)確度，精密度導(dǎo)軌，分度精度。

2.高剛度：對靜剛度、動剛度、熱剛度提出了嚴(yán)格的眼球要求。除了自身的剛度外，還應(yīng)注意接觸剛度，并考慮由工件、機(jī)床、刀具和夾具組成的工藝系統(tǒng)的剛度。隨著試驗(yàn)方法的不斷改進(jìn)，人們對動剛度和熱剛度提出了要求，取代了傳統(tǒng)的靜剛度。

3. 穩(wěn)定性高: 該設(shè)備經(jīng)過運(yùn)輸、儲存后，在規(guī)定的工作環(huán)境下使用過程中應(yīng)能長期保持精度，抗干擾，工作穩(wěn)定。 因此，設(shè)備應(yīng)具有良好的耐磨性、抗震性等特點(diǎn)。

高自動化：為了保證加工質(zhì)量和減少人為因素的影響，加工設(shè)備多用數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動化..

為確保措施來滿足這些需求，主要來自于設(shè)計，制造和維修等。

一。結(jié)構(gòu)設(shè)計：在設(shè)計中，精密機(jī)床的結(jié)構(gòu)，特別是其總體布局、主要運(yùn)動部件、進(jìn)給運(yùn)動部件，應(yīng)充分考慮熱、力等因素的作用。應(yīng)采取相應(yīng)措施，減少機(jī)床內(nèi)部熱變形，提高機(jī)床的剛性和抗震性，減少磨損及其對精度的影響，盡可能縮短內(nèi)鏈傳動鏈，提高了內(nèi)部鏈路傳輸對的傳輸精度。

圖2。 技術(shù)要求: 提高主要零件的幾何精度，降低表面粗糙度，保證制造質(zhì)量。 主要是為了提高主軸部件、導(dǎo)軌、絲杠、分度蝸輪副和一些傳動齒輪的幾何精度，因?yàn)檫@對提高機(jī)床的加工精度最為直接。

3.制造：在制造過程中需要采取以下措施：

和部件的組件

（1）臨界超精密加工應(yīng)在恒溫下進(jìn)行。

（2） 超精密機(jī)床的主要零件往往要經(jīng)過多次時效處理，以盡量減小內(nèi)應(yīng)力的影響。零件經(jīng)時效處理后，超精加工精度高且穩(wěn)定。

( 3 )高精度的測量儀器和先進(jìn)的測量方法是獲得高精度的必要手段。 對于某些零件的超精密機(jī)床、測量儀器，其精度高于工件的制造精度。 這樣可以保證零件的尺寸精度和形位精度。

用途：超精密加工必須在穩(wěn)定的加工環(huán)境中使用..穩(wěn)定的加工環(huán)境條件主要是指溫度、濕度、凈化和振動四個方面。