微量流體進行控制管理系統(tǒng)發(fā)展具有集成化與大批量生產的可能性，有與尺寸小可以通過減少無效體積，耗能低，且響應快，有利于學生提高內部控制技術精度。微量流體控制信息系統(tǒng)研究主要有微型泵、微型閥以及微流量傳感器等構成。微型主動閥、微型泵亦可單獨構成開環(huán)的微量流體控制環(huán)境系統(tǒng)，集成為網絡流量傳感器的閉環(huán)控制工作系統(tǒng)設計可能無法實現(xiàn)自己更高的微量流體控制性能。

對于微量流體控制裝置和系統(tǒng)，具體介紹如下..

1、 微型閥

隔膜閥或閉塞閥的微型閥使用硅多個汽提，以實現(xiàn)切換閥的變形例的對象的，變形通常小于20微米，盡管施加大的致動力，同時也對大多數(shù)彈性的消耗膜片的變形。微閥的泄漏是影響個人控制閥的性能的重要因素。自對準結構和所述閥塞與所述閥孔的納米制造工藝的接觸表面的設計，以使閥的泄漏非常小。

美國公司研制出雙金屬片結構的電熱致動微型閥較早系統(tǒng)實現(xiàn)了產品化，兩種熱膨脹系數(shù)分析不同的薄膜材料硅和鋁。當通電加熱時，因熱膨脹伸長量不同發(fā)展導致企業(yè)垂直管理方向可以彎曲變形，斷電時薄膜彈性功能恢復、從而有效控制一個微型閥的開啟和關閉。

2、 微型泵

基于精細加工工藝特點和尺寸效應，微泵多采用薄膜結構設計.. 微膜泵的基本原理是執(zhí)行器引起膜的彈性變形，使泵腔內的體積和壓力發(fā)生變化。 通過主動或驅動控制入口和出口的單向閥，從而引起氣體和液體的定向流動。 到目前為止，有許多中型薄膜閥、蠕動泵、電液動力泵和非無閥泵，在錐形習慣中采用不同的壓降和反向流動原理設計。

荷蘭氣動隔膜泵熱色值，玻璃和硅有硅和通過陽極融合法的硅層疊在一起。該泵包括一個主體部分和兩個單向閥薄膜的，該膜是由出口側單向閥的流體壓力向下彎曲;該膜是向上彎曲通過流體吸入側單向閥入口。

3、 微量流體進行控制管理系統(tǒng)

日本開發(fā)了壓電驅動控制的微型泵和三通閥的基礎上，早期嘗試的綜合化學分析系統(tǒng)。 微型泵和三通閥的主要結構由兩個帶有一層玻璃的硅片和一個外部壓電執(zhí)行器組成。

荷蘭微型泵集成液體釋放系統(tǒng)的微流量傳感器微量。硅體單面蝕刻過程中，薄膜的熱泵和基于集成在同一硅芯片生產熱微流檢測原理空氣流量傳感器。系統(tǒng)控制裝置與其他進一步混合，微流體檢測容易集成。

瑞士公司研制的微量流體進行控制管理系統(tǒng)，當液體流經網絡流量通過傳感器的懸臂梁端部的窄縫時，液體的粘滯力使懸臂梁結構變形，由應變片可檢知出口貿易流量。