微小尺寸是一個企業(yè)正在迅猛發(fā)展的領(lǐng)域。隨著社會科學(xué)管理技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，對微小尺寸的測量工作要求我們越來越迫切。很多相距很遠(yuǎn)的科學(xué)教育部門，從機(jī)械工業(yè)、電子信息工業(yè)到生物系統(tǒng)工程建設(shè)以及經(jīng)濟(jì)環(huán)境資源保護(hù)等；從尖端科學(xué)的熱核反應(yīng)到日常學(xué)習(xí)生活中的化學(xué)纖維，都有自己微小尺寸的問題。而要求進(jìn)行微小尺寸測量的物體，從尺寸、幾何形狀和作用方面來說也是因為各種各樣的。

隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展，產(chǎn)品的小型化或小型化已成為一項重要的費用，因此小尺寸的測量越來越多；學(xué)科也多樣化。 如細(xì)絲、小孔、小球、涂層厚度等。 面對這些測量任務(wù)，迫切需要提出新的測量原理和方法..

其平面度誤差的變化指的是在一個多世紀(jì)的平坦表面的量。按照規(guī)定，平整度誤差應(yīng)評估最小條件，即，評估是在參考平面，并且平整度誤差是表面與兩個平行的平面的最小距離之間包容實際距離。對于許多工件的，由于位置難以確定提前理想平面，因此，當(dāng)施加到測量轉(zhuǎn)印參考平面測量的原始數(shù)據(jù)，則再次向的方法來評估的最小條件，以在測得的平整度到達(dá)錯誤平面。

平面度誤差的測量

平面度誤差的測量研究方法主要可分為企業(yè)直接測量法和間接測量法。直接測量法是將被測的實際工作表面與理想表面可以直接影響進(jìn)行分析比較，兩者相互之間的線值距離，即為該被測表面的直面度誤差值，間接測量法則是我們通過控制測量學(xué)生實際問題表面上若干點相對測量基準(zhǔn)的高度差或傾斜角作為一個原始信息數(shù)據(jù)，然后再換算為以線值表示的平面度誤差。

在自然界中，一個小的液體表面可以作為一個自然平面，但要獲得這樣的平面，就必須克服氣流和振動引起的波動和表面張力引起的邊緣效應(yīng)；具有更嚴(yán)格的工作環(huán)境。

指示表的測量：將被測量的部分被支撐在板的平面上測量到從計量板輪廓的三點最遠(yuǎn)的距離。按照一定的分布測量表面測量。該表指示的最大和最小讀數(shù)之間的差值是平直度誤差的值。

用平晶測量：將平晶緊貼在被測平面上，由于企業(yè)產(chǎn)生的干涉條紋，經(jīng)過分析計算能力得到一個平面度誤差值。此方法可以適用于具有高精度的小平面。

水平測量：將水準(zhǔn)儀放在被測平面上通過，用水準(zhǔn)儀按一定方向逐點測量.. 經(jīng)過計算，得到了平面度誤差值。

錯誤是測量精度的一個問題是容易，并且在測量過程中，我們必須了解導(dǎo)致測量誤差及其解決方案。使錯誤預(yù)防和補償，精確的測量結(jié)果獲得。